Röntgenfluoreszenzanalyse basiert auf Grundlage der Röntgenfluoreszenz. Die Materialprobe wird dabei durch definierte Röntgenstrahlung angeregt sodass eine messbare Fluoreszenzstrahlung abgegeben wird.
So wird eine Identifizierung und Konzentrationsbestimmung aller Elemente ab Ordnungszahl Z = 5 (Bor) möglich. Aus dem resultierenden Signal erhält man Informationen, ob das Probenmaterial Elemente wie Blei, Cadmium, Nickel u.a. enthält. Die Analytik dient z.B. der Materialidentifizierung von Metallen.
